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UPSS級電子級氟化氫工藝包順利投產(chǎn)電子級氫氟酸應(yīng)用于集成電路和超大規(guī)模集成電路芯片的清洗和腐蝕，是微電子行業(yè)制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一。根據(jù)用途的不同，電子級氫氟酸主要分為EL、UP、UPS、UPSS等級別，其中UPSS級別是目前最高純度級別。 本公司提供的電子級氟化氫工藝包，通過連續(xù)化的氟氮氧化反應(yīng)器，高效率氟化氫脫金屬離子精制系統(tǒng)，一次制備UPSS級別電子級氟化氫。 |
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